デジタルスピードコントローラーバルブ
比例制御バルブでも実現できなかった応答速度とロースピードからハイスピードまで滑らかに気体を制御しアクチュエーターをコントロールします。

デジタルマスフローコントローラー
デジタル表示で流量コントロールの精度アップ
マイクロチップセンサーを搭載した熱式質量流量計とスピードコントローラーバルブを合体させたデジタル流量コントローラー

デジタルマスフローメータ−
デジタルスピードコントローラーALCOS−V とドッキングすることでデジタルマスフローコントローラに変身。
また分離されたバルブの遠隔コントロールで、自在にシステムの構築が可能となりました。