デジタルマスフローメータ−

マイクロチップセンサーを搭載した熱式質量流量計

◆ 特徴
　デジタルスピードコントローラーALCOS−V とドッキングすることでデジタルマスフローコントローラに変身。
また分離されたバルブの遠隔コントロールで、自在にシステムの構築が可能となりました。
　・デジタル表示により流量を即時把握
　・ジョグスイッチを搭載しレンジの切り替えが容易
　・円筒形設計により設置等が容易（取り付け場所を選ばない）
　・独自開発の流量センサーにより誤差が少ない
　・コントローラーの後付けが可能

◆ 用途　業界
　産業ロボット／自動車／医療／食品／半導体

特許第６４８１２８２号・特許第６６５３１００号・特許第６７３１５９４号

◆ 用途例

◆ 標準仕様

◆ 外形寸法図