デジタルマスフローコントローラー

デジタル表示で流量コントロールの精度アップ
マイクロチップセンサーを搭載した熱式質量流量計とスピードコントローラーバルブを合体させたデジタル流量コントローラー

◆ 特徴
　気体をハイレスポンスでかつ滑らかにコントロールし、要求された流量を要求されたタイミングで機器に供給します。
　・デジタル表示で流量を微細にコントロール可能
　・ジョグスイッチを搭載しレンジの切り替えや数値設定が容易
　・円筒形設計により設置等が容易（取り付け場所を選ばない）
　・独自開発の流量センサーにより誤差が少ない
　・流量計とコントローラーの別設置が可能

◆ 用途　業界
　産業ロボット／自動車／航空宇宙／計測分析／医療／食品／半導体

特許第６４８１２８２号・特許第６６５３１００号・特許第６７３１５９４号

◆ 用途例

◆ 標準仕様

◆ 外形寸法図