単電源マスフローメータ

一般産業機器にマッチした24V駆動の電子流量計
2件の特許出願中(特願 平 11-333190、特願 平 11-376463)

お手持ちの電源でマスフローメータが動作可能に!
コンパクトサイズで60 SLMクラスの領域まで流量計測が可能
面間サイズ65mm

マスフローコントローラ動作原理
・ マスフローコントローラの基本的な構成は、熱式質量流量センサ(以下センサで表現)、バイパス層流素子、ブリッジ回路、バルブ制御回路から成り立っています。
・ ガスが流れだすと、上流側と下流側に巻かれたセンサの熱バランスが崩れ、センサの温度分布に変化が起こります。
・ この変化をブリッジ回路で捉え流量出力信号として取り出しています。
・ これに、外部から与えられた流量設定信号と比較してそれぞれの信号レベルが一致するところまで自動的にバルブの開度を微調整します。
・ この為、常に安定した流量を設定した条件で流量制御することができます。

標準仕様

*1 上記仕様以外のガスについては、別途ご相談下さい。
*2 上記仕様以外のガス接続部材質については、別途ご相談下さい。
尚、仕様または外観は、改良のためお断りなく変更する場合がありますのでご了承下さい。

外形寸法図